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PV-360 光伏电池喷涂系统

产品介绍:

在线热扩散与选择性发射极激光掺杂工艺,PV-360是一种用于太阳能电池制造应用的高产量涂敷系统,PV-360每小时最多可加工4300个晶片,利用USI专有的无喷嘴超声波喷头技术来应用一层薄的均匀的掺杂涂层,与其他技术和工艺相比,Ultra-Spray® 技术提供了优异的涂层沉积。



功能特点:

★  独有专利超声波喷涂技术

★  水基溶剂型掺杂剂

★  非接触涂层沉积

★  高达95%的转换效率

★  可与任何扩散炉集成

★  水基输送带清洗系统

★  自动喷头清洗系统

★  闭环计量泵液体输送

★  156mm晶片的5条轨道

★  125mm晶片的6条轨道

★  可选的双面涂层能力


无喷嘴超声波喷头技术:

USI的核心技术,由独有的专利无喷嘴超声波喷头技术提供薄的涂层,均匀地应用各种低粘度材料,喷头由一个带有喷射成形尖端的超声波换能器、超声波发生器、外部液体施加器和空气导向器组成,喷雾是用超声波能量和成型低压空气,以更精确和可控的涂层应用。


技术参数:

PV360 涂敷系统规格

涂敷技术

超喷雾叶片头

- 超声波频率- 45KHz

- 超声波发生器

- 液体流量的电子控制

- 空气流量的电子控制

- 喷射宽度高达215mm(8.5 in)

- 流速范围10至30ml/min

液体输送

PMP-200 精密计量泵

- 两个100ml容量计量泵

- 自动重新填充泵为了连续运转操作

- 伺服电机驱动

输送机

- 连续网带

- 聚四氟乙烯涂层纤维结构

- 水基清洗系统

- 红外干燥系统

- 输送机速度:up to 1.8m/min(6ft/min)

工艺宽度

- 914mm (36   in)

喷雾头速度

- 喷雾行程:up to 1500 mm/sec (79 in/sec)
- 返回行程:up to 1500 mm/sec (79 in/sec)

穿行机构

- 伺服电机/齿轮箱

- 同步网带传动执行机构

晶圆干燥

- IR 晶圆干燥系统

处理过程

喷雾行程

- 喷雾头从Home移到传送带宽度边缘

- 喷雾阀开启

返回行程

- 喷雾头返回Home

- 喷雾阀关闭

Home 位置

- 喷雾头部停留在Home中直到传送带行进距离等于喷射模式宽度;up to 215 mm (8.5 in)

控制系统

- 单程可编程自动化控制器(PAC)

- 触摸面板用户界面(GUI)

- 处理过程中的菜单和记录

占地面积

- 2390mm x 1880mm x 2007mm   (94.1〃 x 74 〃x 79〃)

重量

- 1135 kg (2,500   lbs)

Dl 水支持

- 19 LPM (5 GPM) @0.7 bar (10psi)

电源需求

- 480   VAC, 3-phase, 35 Amps (USA)

- 380   VAC, 3-phase, 35 Amps (Europe/Asia)

气动要求

- 清洁、干燥压缩空气 at 5.5 bar (80 psi)@ 566 l/min (20 SCFM)
- 压缩氮气 at 5.5 bar (80 psi)@ 283   l/min 
(10 SCFM)

- 8500 l/min (300 SCFM) 排气  a 167 mm(6.6 in) duct